熱式氣質量流量計是利用傳熱原理，即流動中的流體與熱源（流體中加熱的物體或測量管外加熱體）中間熱量交換關系來測量流量的儀表，過去我國習稱量熱式流量計。當前主要用在測量氣。
熱式氣質量流量計性能考慮 ；
TMF的流量應以單位時間流過的質量來表示，但測量氣時習慣上亦常以計算到標準狀態下單位時間流過的體積表示。流量亦以標準狀態下單位時間流過距離的長度表示。與其他流量計相比，TMF適用在低流量范圍，特別是小口徑熱分布式；帶測量短管浸入檢測桿式可選上限（滿度）流量范圍較寬，上限范圍度在10~ 30（TH1200型）和60 ~80 (TH1300型)中間。
插入式TMF的上限流量選擇范圍較寬，可在0.5~100m/s,但較多用在3~60m/s中間，視儀表結構設計而異。插入式TMF 適用在低流量煙道氣測量。
液體用TMF的上限流量很小，國外現有產品上限流量范圍在10－1~102g/min數量級中間；流量范圍度在10:1~50:1中間。